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BenchMark 450 主要技术参数 |
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）
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英制单位 |
公制单位 |
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测量范围 |
18" X18"X6" |
450x450x150毫米 |
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尺寸 |
48" X45"X67" |
1210x1140X1700毫米 |
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负载能力 |
65千克 |
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台面分辨率 |
0.5微米 |
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光学 |
双重放大 (物镜 X) |
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低 |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
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高 |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
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标配物镜 |
1X |
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可选物镜 |
0.8X,2.5X,5X |
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照明 |
LED 背光,LED 同轴面光 |
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可选特征 |
多色可编程环形灯 (PRL) |
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Ronchi 栅格自动聚焦 |
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TTL 激光 |
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旋转分度工作台 |
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